青島潔凈室生產(chǎn)設(shè)備工業(yè)設(shè)計選用

    為實現(xiàn)在潔凈室內(nèi)使用防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，在工業(yè)設(shè)計和選用設(shè)備是應(yīng)該遵循的一些基本要求。青島潔凈室生產(chǎn)設(shè)備工業(yè)設(shè)計選用

   設(shè)備表面光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)。這里不能只理解為設(shè)備外表面，應(yīng)該包括設(shè)備的所有可能與潔凈室生產(chǎn)環(huán)境接觸的表面和可能與電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的表面，也包括這些表面的制作材料。某些電子產(chǎn)品與一些化學(xué)物質(zhì)在制作過程中或在電子產(chǎn)品的使用過程中可能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，影響某些電子產(chǎn)品的性能參數(shù)，所以要求設(shè)備表面不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)。

    在電子工業(yè)潔凈室內(nèi)，常常按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求配置有在生產(chǎn)運(yùn)行中將會散發(fā)微粒或排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，如半導(dǎo)體器件、集成電路生產(chǎn)中的擴(kuò)散爐、外延爐、刻蝕機(jī)、離子注入設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等，此類設(shè)備一般均沒有局部排風(fēng)設(shè)施。

    由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要，某些設(shè)備必須跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室時，應(yīng)采取固定隔斷或接空氣幕等可靠的密封隔斷措施。

    保護(hù)潔凈室內(nèi)工作人員的身體健康，潔凈室內(nèi)噪聲容許值，因此安裝在潔凈室內(nèi)的設(shè)備應(yīng)選用符合要求的低噪聲設(shè)備，由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程或設(shè)備設(shè)計、運(yùn)行條件的限制，所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)根據(jù)具體工程項目的實際條件采取相應(yīng)的隔聲措施。